PRODUCT
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MA-5301ML
300mm 대응 노광장치
다층 노광를 위해 자동 정렬 메커니즘을 사용할 수 있는 마스크와 정렬된 코팅기판에 패턴을 인쇄하는 노광 시스템에 기판 적재, 정렬, 노광, 배출 등이 자동으로 수행된다.
제품개요
- ▷자사 개발의 미러 광학계 LAMP HOUSE를 탑재, 조사면내 균일성, 고 조도를 실현
▷독자의 동축 ALIGNMANT방식과 고속 화상처리 기술을 채용하여 고정도의
ALIGNMENT를 실현. IR방식이나 내면방식에도 대응.
▷독자의 광학식 GAP SENSOR에 따른 MASK과 기판간의 PROXIMITY GAP을 비접촉
으로 고속・고정도로 설정
▷MASK 체인져를 탑재. 최대 20매의 PHOTO MASK를 자동 교환.
LOAD PORT 를 최대 3개 탑재 가능.
| 기판 SIZE | Ø300 MM |
|---|---|
| 광원 | 초고압 수은등: 3.5 kw |
| 본체 치수 | W 2450 × D 2400 × H 2300 mm |
| 옵션 | Ø200 MM 사용도 대응가능, 비접촉 ALIGNMANT ~ AUTO ALIGNMENT 가능 |